2025-02-16 01:05:34
光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。射频等离子清洗机以其高效、环保清洗的特点,成为了半导体、微电子、航空航天等行业的关键设备。北京在线式等离子清洗机厂家推荐
等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。等离子清洗机的主要作用机理是通过产生等离子体来处理样品表面,使得表面变得更加清洁、活化或蚀刻。等离子体是一种由离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等组成的特殊状态,它具有极高的化学活性,可以有效地与样品表面发生反应,从而清洁表面或改变表面的性质。贵州plasma等离子清洗机服务电话与传统的表面处理方法相比,等离子表面处理技术具有更低的成本,从而降低了生产成本。
等离子清洗机在隐形眼睛中清洗的应用:目前使用的隐形眼镜是用有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酪)制成的,它具有折射率高、硬度合适、生物亲和性好等优点,但它存在亲水性差的缺点,长期佩戴会造成眼睛不适,另外它对氧气的通透性较差,易造成佩戴时引起眼睛发炎等问题。研究发现使用等离子体清洗技术不仅可以去除隐形眼镜表面的污垢,而且利用乙炔、氮气和水形成的等离子体聚合物镀在隐形眼镜的表面形成--个薄膜,可以改善它的亲水性、保湿性和透气性。用等离子体清洗不仅可将隐形眼镜上的各种污垢清洗干净,而且具有对材料性能影响小,可在较长一段时间里有效减少被污染可能的优点。
等离子清洗机在半导体封装中的应用具有明显的优势。首先,等离子清洗能够提供高度均匀的清洁效果,确保芯片表面的每一处都能得到充分的处理。这对于提高封装的可靠性和性能至关重要。其次,等离子清洗机具有高度的可控性和可重复性。通过精确控制等离子体的参数,如气体种类、流量、压力和射频功率等,可以实现对清洗过程的精确控制,从而确保每次清洗都能获得一致的结果。此外,等离子清洗机还能够在不损伤芯片表面的情况下有效去除污染物。相较于机械清洗或化学清洗,等离子清洗能够避免对芯片表面造成划痕或引入新的污染物,从而保护芯片的完整性和性能。等离子清洗机还具有高效率和低成本的优点。它能够在短时间内完成大面积的清洗任务,提高生产效率;同时,由于不需要使用化学试剂,因此也降低了生产成本。常温等离子清洗机原理在于“等离子体”,通过气体放电形成,可以在常温、常压的状态下进行产品的处理。
真空等离子清洗机广泛应用于各个行业的表面处理领域,包括但不限于以下领域:半导体工业:清洗半导体芯片、晶圆和器件的表面,提高其质量、可靠性和效率。光学工业:清洗光学元件、镜片和光纤的表面,去除污染物和增强光学性能。航空航天工业:清洗飞机发动机零部件、航天器材和导航仪器等的表面,确保其正常运行和安全性。汽车工业:清洗汽车零部件、发动机和底盘的表面,提高耐磨性、防腐性和涂装质量。医疗器械:清洗医疗器械的表面,确保其无菌性和安全性。金属加工:清洗金属制品、铸件和焊接接头等的表面,提高粘接性和耐腐蚀性。电子工业:清洗电子元件、PCB板和连接器的表面,确保电气性能和可靠性。线性等离子清洗机适应多种材料,能够解决薄膜表面处理的难题,是处理薄膜等扁平且较宽材料的不错的设备。江西大气等离子清洗机品牌
等离子清洗机处理后的时效性会因处理时间、气体反应类型、处理功率大小以及材料材质的不同而有所差异。北京在线式等离子清洗机厂家推荐
汽车保险杠通常会采用塑料材料,其中PP和EPDM材料具有韧性好、易加工,又加上具有成本优势,一直以来都是汽车保险杆生产厂商的好帮手。我们知道,保险杠需经过喷漆处理,而PP和EPDM材料表面能比较低,直接涂会掉漆,以往都是在喷漆前用火焰处理来提高材料的表面能,但火焰处理方式容易造成材料变形和色变,并且材料耐老化性差。真空等离子体清洗机表面处理技术不仅能解决保险杠PP和EPDM材料表面能低,粘接力差的问题,而且安全可靠,得到了生产厂商的认可和使用。等离子清洗机应用于PP和EPDM材料处理是一种干式环保的处理方式,通过等离子清洗机的处理,既能够有效提升PP包材的表面粘接力,使之在印染时粘得更牢、不易脱落,且无需使用溶剂,绿色环保、节约成本。北京在线式等离子清洗机厂家推荐